Получение и свойства тонких пленок с кремниевыми, германиевыми и кремний-германиевыми наноструктурами / А. С. Строгова, А. А. Ковалевский, Д. Ф. Кузнецов

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//732037(039), 1Н//732038(039), ##1Н//420750(055),
Вид документа: Книги
Автор: Строгова, А. С.
Опубликовано: Минск : Бестпринт , 2018
Физические характеристики: 219, [1] с. : ил., табл. ; 21 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br0001554778
005 20190625141536.0
010 # # $a 978-985-90446-8-7  $b в переплете 
100 # # $a 20190522d2018 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a z 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Получение и свойства тонких пленок с кремниевыми, германиевыми и кремний-германиевыми наноструктурами  $f А. С. Строгова, А. А. Ковалевский, Д. Ф. Кузнецов 
210 # # $a Минск  $c Бестпринт  $d 2018 
215 # # $a 219, [1] с.  $c ил., табл.  $d 21 см 
320 # # $a Библиография: с. 199―220 (353 назв.) 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4314591  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2862840  $a НАНОПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4914454  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2493283  $a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83769  $a ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2685025  $a ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35865  $a ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33914  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39092  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21821  $a ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2743697  $a ИСПОЛЬЗОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24602  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.793.16  $v 4  $z rus 
675 # # $a 539.232  $v 4  $z rus 
675 # # $a 539.216.2-022.532  $v 4  $z rus 
686 # # $a 55.22.01  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 81.09.03  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar4500262  $a Строгова  $b А. С.  $g Александра Сергеевна  $c кандидат технических наук, электроника 
701 # 1 $3 BY-SEK-224759  $a Ковалевский  $b А. А.  $g Александр Адамович  $c кандидат технических наук, электроника  $f род. 1942 
701 # 1 $3 BY-SEK-123109  $a Кузнецов  $b Д. Ф.  $g Дмитрий Федорович  $c высшее образование  $f род. 1973 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20190522  $g RCR