Исследование механизма пассивации поверхности InAs(111)A фторсодержащими анодными слоями: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Аксенов Максим Сергеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//227671(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Аксенов, М. С.
Опубликовано: Новосибирск , 2019
Физические характеристики: 22 с. : ил., цв. ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001551717
005 20190724103831.0
100 # # $a 20190513d2019 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование механизма пассивации поверхности InAs(111)A фторсодержащими анодными слоями  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.10 Физика полупроводников  $f Аксенов Максим Сергеевич  $g [Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук] 
210 # # $a Новосибирск  $d 2019 
215 # # $a 22 с.  $c ил., цв. ил. 
320 # # $a Библиография: с. 20—22 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2749267  $a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7185765  $a АНОДНО-ОКСИДНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar88186  $a ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2726715  $a ПАССИВИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83379  $a АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6836  $a ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3147130  $a ТАУНСЕНДА РАЗРЯД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6756  $a ГАЗОВЫЕ СМЕСИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36563  $a ФТОР  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2441270  $a РЕАГЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2333145  $a АТОМНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39090  $a ЭЛЕКТРОННАЯ СТРУКТУРА  $2 DVNLB 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.24  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar13514726  $a Аксенов  $b М. С.  $g Максим Сергеевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20190513  $g RCR