Исследование и разработка оптоволоконного микро-оптоэлектромеханического кремниевого фотовольтаического датчика давления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Чернов Артем Сергеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//227664(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Чернов, А. С.
Опубликовано: Новосибирск , 2019
Физические характеристики: 22 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001551706
005 20190801143751.0
100 # # $a 20190513d2019 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование и разработка оптоволоконного микро-оптоэлектромеханического кремниевого фотовольтаического датчика давления  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Чернов Артем Сергеевич  $g [ООО "СибИС"] 
210 # # $a Новосибирск  $d 2019 
215 # # $a 22 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 20—22 (14 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2290523  $a ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6174  $a ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1992514  $a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar52080  $a КРЕМНИЕВЫЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36368  $a ФОТОГАЛЬВАНИЧЕСКИЙ ЭФФЕКТ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2420611  $a ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3321655  $a КОНСТРУКТИВНЫЕ РЕШЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33866  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 50.09.37  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.35.41  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.37  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.14.09  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.14.07  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.06  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar13352043  $a Чернов  $b А. С.  $g Артем Сергеевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20190513  $g RCR