Методы контроля, используемые в производстве тонкопленочных и твердых микросхем: обзор по материалам отечественной и зарубежной печати за 1960―1965 гг. / составители: Невский Ю. А. [и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Центральный научно-исследовательский институт технико-экономических исследований и научной инфрормации , 1967 |
| Физические характеристики: |
59, [3] с. : граф., ил., схемы, табл. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры научно-технической литературы по электронной технике
№ 12 |
Загрузка