|
|
|
|
|
00000nam2a22000003is4500 |
001 |
BY-NLB-br0001548624 |
005 |
20190425143017.0 |
100 |
# |
# |
$a 20190425d1967 |||y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a SU
|
105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
200 |
1 |
# |
$a Методы контроля, используемые в производстве тонкопленочных и твердых микросхем
$e обзор по материалам отечественной и зарубежной печати за 1960―1965 гг.
$f составители: Невский Ю. А. [и др.]
$g [редактор Прибыткова Э. Н.]
|
210 |
# |
# |
$a Москва
$c Центральный научно-исследовательский институт технико-экономических исследований и научной инфрормации
$d 1967
|
215 |
# |
# |
$a 59, [3] с.
$c граф., ил., схемы, табл.
$d 20 см
|
225 |
1 |
# |
$a Обзоры научно-технической литературы по электронной технике
$i Серия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v № 12
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 59―60 (69 назв.)
|
461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br456183
$1 2001
$v № 12
|
702 |
# |
1 |
$a Невский
$b Ю. А.
$4 220
|
702 |
# |
1 |
$a Прибыткова
$b Э. Н.
$4 340
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20190425
$g RCR
|