Получение и структура пленок SiO2 явления на поверхности Si–SiO2: (тематический сборник статей из иностранных источников) / [редактор Бородулин Г. Н.]
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Опубликовано: | Москва : Центральный научно-исследовательский институт технико-экономических исследований и научной инфрормации , 1966 |
Физические характеристики: |
199, [1] с. : граф., схемы, табл. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры научно-технической литературы по электронной технике
№ 7 |
Загрузка