Получение и структура пленок SiO2 явления на поверхности Si–SiO2: (тематический сборник статей из иностранных источников) / [редактор Бородулин Г. Н.]

Сохранено в:
Вид документа: Периодические издания
Опубликовано: Москва : Центральный научно-исследовательский институт технико-экономических исследований и научной инфрормации , 1966
Физические характеристики: 199, [1] с. : граф., схемы, табл. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры научно-технической литературы по электронной технике № 7
Загрузка