Получение и структура пленок SiO2 явления на поверхности Si–SiO2: (тематический сборник статей из иностранных источников) / [редактор Бородулин Г. Н.]
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Опубликовано: | Москва : Центральный научно-исследовательский институт технико-экономических исследований и научной инфрормации , 1966 |
Физические характеристики: |
199, [1] с. : граф., схемы, табл. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры научно-технической литературы по электронной технике
№ 7 |
00000nam2a22000003is4500 | |||
001 | BY-NLB-br0001548555 | ||
005 | 20190425135122.0 | ||
100 | # | # | $a 20190425d1966 |||y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a SU |
105 | # | # | $a a ||||000yy |
200 | 1 | # | $a Получение и структура пленок SiO2 явления на поверхности Si–SiO2 $e (тематический сборник статей из иностранных источников) $f [редактор Бородулин Г. Н.] |
210 | # | # | $a Москва $c Центральный научно-исследовательский институт технико-экономических исследований и научной инфрормации $d 1966 |
215 | # | # | $a 199, [1] с. $c граф., схемы, табл. $d 21 см |
225 | 1 | # | $a Обзоры научно-технической литературы по электронной технике $i Серия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника $f Министерство электронной промышленности СССР $v № 7 |
320 | # | # | $a Библиография в конце статей |
461 | # | 1 | $1 001BY-NLB-br456183 $1 2001 $v № 7 |
702 | # | 1 | $a Бородулин $b Г. Н. $4 340 |
801 | # | 0 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20190425 $g RCR |