Получение и структура пленок SiO2 явления на поверхности Si–SiO2: (тематический сборник статей из иностранных источников) / [редактор Бородулин Г. Н.]

Сохранено в:
Вид документа: Периодические издания
Опубликовано: Москва : Центральный научно-исследовательский институт технико-экономических исследований и научной инфрормации , 1966
Физические характеристики: 199, [1] с. : граф., схемы, табл. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры научно-технической литературы по электронной технике № 7
00000nam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001548555
005 20190425135122.0
100 # # $a 20190425d1966 |||y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a SU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Получение и структура пленок SiO2 явления на поверхности Si–SiO2  $e (тематический сборник статей из иностранных источников)  $f [редактор Бородулин Г. Н.] 
210 # # $a Москва  $c Центральный научно-исследовательский институт технико-экономических исследований и научной инфрормации  $d 1966 
215 # # $a 199, [1] с.  $c граф., схемы, табл.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры научно-технической литературы по электронной технике  $i Серия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v № 7 
320 # # $a Библиография в конце статей 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br456183  $1 2001   $v № 7 
702 # 1 $a Бородулин  $b Г. Н.  $4 340 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20190425  $g RCR