|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001548164 |
| 005 |
20190918201554.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20190424d2019 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Осипов Артем Арменакович
$g [Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого]
|
| 210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2019
|
| 215 |
# |
# |
$a 18, [1] с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце текста (9 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7358508
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23928
$a ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24113
$a ПОДЛОЖКИ (электроника)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13235
$a КВАРЦ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2187791
$a КАРБИД КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2384640
$a НИОБАТ ЛИТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23669
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3128229
$a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar55425
$a ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 31.15.30
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar13503304
$a Осипов
$b А. А.
$g Артем Арменакович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20190424
$g RCR
|
