Фотолитография в производстве изделий электронной техники: (по материалам зарубежной печати за 1965―1967 гг. / [составители: Г. М. Белевич и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Центральный научно-исследовательский институт технико-экономических исследований и научной инфрормации , 1967 |
| Физические характеристики: |
22, [1] с. : табл. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры научно-технической литературы по электронной технике
№ 33 |
Загрузка