Фотолитография в производстве изделий электронной техники: (по материалам зарубежной печати за 1965―1967 гг. / [составители: Г. М. Белевич и др.

Сохранено в:
Вид документа: Периодические издания
Опубликовано: Москва : Центральный научно-исследовательский институт технико-экономических исследований и научной инфрормации , 1967
Физические характеристики: 22, [1] с. : табл. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры научно-технической литературы по электронной технике № 33
00000nam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001547389
005 20190420130027.0
100 # # $a 20190420d1967 |||y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a SU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Фотолитография в производстве изделий электронной техники  $e (по материалам зарубежной печати за 1965―1967 гг.  $f [составители: Г. М. Белевич и др.  $g редактор И. Жидова] 
210 # # $a Москва  $c Центральный научно-исследовательский институт технико-экономических исследований и научной инфрормации  $d 1967 
215 # # $a 22, [1] с.  $c табл.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры научно-технической литературы по электронной технике  $i Серия: Технология и организация производства  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v № 33 
320 # # $a Библиография: с. 22―23 (64 назв.) 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br456191  $1 2001   $v № 33 
702 # 1 $a Белевич  $b Г. М.  $4 220 
702 # 1 $a Жидова  $b И.  $4 340 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20190420  $g RCR