|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001539791 |
| 005 |
20190723105030.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20190320d2018 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование свойств и закономерностей формирования массивов металлических наночастиц одно- и двухкомпонентных систем методом вакуум-термического испарения
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Савицкий Андрей Иванович
$g [Институт перспективных материалов и технологий "Национального исследовательского университета "Московский институт электронной техники"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2018
|
| 215 |
# |
# |
$a 21 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 18—21
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-SEK-ar9465129
$a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ НАНОЧАСТИЦЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3973
$a БИНАРНЫЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5139819
$a ВАКУУМ-ВЫПАРИВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.14.07
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar13475759
$a Савицкий
$b А. И.
$g Андрей Иванович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20190320
$g RCR
|
