Влияние примесей на дислокационную люминесценцию в кремнии, имплантированном ионами Si+: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Королев Дмитрий Сергеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//224290(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Королев, Д. С.
Опубликовано: Нижний Новгород , 2018
Физические характеристики: 21 с. : цв. ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001512105
005 20190317090023.0
100 # # $a 20181129d2018 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Влияние примесей на дислокационную люминесценцию в кремнии, имплантированном ионами Si+  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Королев Дмитрий Сергеевич  $g [Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского (ННГУ Н. И. Лобачевского)] 
210 # # $a Нижний Новгород  $d 2018 
215 # # $a 21 с.  $c цв. ил. 
320 # # $a Библиография: с. 18—21 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24602  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25538  $a ПРИМЕСИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar87382  $a ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3360093  $a ДИСЛОКАЦИОННЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2185522  $a ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.09.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.31.23  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-900647  $a Королев  $b Д. С.  $g Дмитрий Сергеевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20181129  $g RCR