|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001510053 |
| 005 |
20190306173748.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20181122d2018 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Моделирование формирования микро- и наноструктур при распылении материала фокусированным ионным пучком
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 01.04.10 Физика полупроводников
$f Румянцев Александр Владимирович
$g [Национальный исследовательский университет "МИЭТ" ]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2018
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—23
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2749267
$a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2685016
$a КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18306
$a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2665900
$a НАНОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12174
$a ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36217
$a ФОКУСИРОВКА ЧАСТИЦ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar52850
$a ГАЛЛИЙ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.21
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.10
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar13392290
$a Румянцев
$b А. В.
$g Александр Владимирович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20181122
$g RCR
|
