Формирование a-C:H:SiOx пленок методом плазмохимического осаждения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.04.04 Физическая электроника / Гренадёров Александр Сергеевич
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Гренадеров, А. С. |
| Wydane: | Томск , 2018 |
| Opis fizyczny: |
20 с. : ил.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||