|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001503902 |
| 005 |
20190213110211.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20181102d2018 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Формирование a-C:H:SiOx пленок методом плазмохимического осаждения
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 01.04.04 Физическая электроника
$f Гренадёров Александр Сергеевич
$g [Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук]
|
| 210 |
# |
# |
$a Томск
$d 2018
|
| 215 |
# |
# |
$a 20 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 19—20
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11090094
$a АЛМАЗОПОДОБНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4412344
$a ПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1607655
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2644768
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2764600
$a СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.23
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.09.03
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.04
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar13375206
$a Гренадеров
$b А. С.
$g Александр Сергеевич
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20181102
$g RCR
|
