|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001502822 |
| 005 |
20190110163626.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20181030d2018 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Структура и свойства тонких пленок ZrO2:Y2O3, формируемых методом магнетронного распыления
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния
$f Шипилова Анна Викторовна
$g [Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН]
|
| 210 |
# |
# |
$a Томск
$d 2018
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—22
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3130678
$a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar32986
$a ТВЕРДЫЕ ЭЛЕКТРОЛИТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2267230
$a ДИОКСИД ЦИРКОНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3251979
$a ОКСИД ИТТРИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4777100
$a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2057676
$a ТВЕРДООКСИДНЫЕ ТОПЛИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.03
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.31.59
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.07
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar13372216
$a Шипилова
$b А. В.
$g Анна Викторовна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20181030
$g RCR
|
