Исследование и моделирование функциональных характеристик чувствительного элемента микромеханического акселерометра для использования в условиях механических и температурных воздействий: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Аунг Тхура

Сохранено в:
Шифр документа: 2//222925(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Аунг Тхура
Опубликовано: Москва , 2018
Физические характеристики: 22 с. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001499881
005 20190124153156.0
100 # # $a 20181019d2018 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование и моделирование функциональных характеристик чувствительного элемента микромеханического акселерометра для использования в условиях механических и температурных воздействий  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Аунг Тхура  $g [НМСТ, Национальный исследовательский университет "МИЭТ"] 
210 # # $a Москва  $d 2018 
215 # # $a 22 с.  $c ил., табл. 
320 # # $a Библиография: с. 20—22 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36645  $a ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2420611  $a ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1913019  $a МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ АКСЕЛЕРОМЕТРЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
686 # # $a 59.31.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 59.14.15  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 0 $3 BY-SEK-ar13363891  $a Аунг Тхура 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20181019  $g RCR