Субмикронная литография с применением потоков ионизирующих излучений: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1971―1983 гг.) / Б. В. Козейкин, А. И. Фролов, А. С. Чеботарев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Козейкин, Б. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1984 |
| Физические характеристики: |
31, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1984, вып. 2 |
Загрузка