Вакуумное оборудование для производства тонкопленочных структур квантовой электроники: (по данным отечественной и зарубежной печати) / [Л. К. Ковалев]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ковалев, Л. К. (1941—2014) |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1982 |
| Физические характеристики: |
82, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1982, вып. 2 |
Загрузка