Механические системы вакуумного технологического оборудования для производства изделий квантовой электроники. Ч. 1: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1974―1983 гг.) / Н. В. Василенко, Л. К. Ковалев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Василенко, Н. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1983 |
| Физические характеристики: |
62 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1983, вып. 4 |
Загрузка