|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001488154 |
| 005 |
20190221134809.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180827d2018 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Конаков Степан Андреевич
$g [Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого]
|
| 210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2018
|
| 215 |
# |
# |
$a 20 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 19—20
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39112
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18296
$a МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2493283
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36833
$a ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36841
$a ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКТОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar25811
$a ПРОЕКТИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18108
$a РАСЧЕТА МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-SEK-ar13453636
$a МИКРОРЕАКТОРЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.13.21
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.39.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.03.14
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar13317160
$a Конаков
$b С. А.
$g Степан Андреевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180827
$g RCR
|
