Эпитаксиальный рост тонких пленок силицидов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965―1985 гг.) / Б. К. Богомолов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Богомолов, Б. К. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1986 |
| Физические характеристики: |
57 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1986, вып. 5 |
Загрузка