|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0001483789 |
005 |
20190102161457.0 |
100 |
# |
# |
$a 20180731d2018 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a y m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Технологии микропрофилирования и формирования контактных систем для микроприборов на основе нитридов III группы
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Желаннов Андрей Валерьевич
$g [Новгородский государственный университет им. Ярослава Мудрого]
|
210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2018
|
215 |
# |
# |
$a 18 с.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 16—18 (24 назв.)
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34408
$a ТРАНЗИСТОРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5245385
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОПЕРАЦИИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar26346
$a ПРОФИЛИРОВАНИЕ (техн.)
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24592
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 45.09.35
$v 6
$2 rugasnti
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar13302292
$a Желаннов
$b А. В.
$g Андрей Валерьевич
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180731
$g RCR
|