Технологии микропрофилирования и формирования контактных систем для микроприборов на основе нитридов III группы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Желаннов Андрей Валерьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//221498(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Желаннов, А. В.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2018
Физические характеристики: 18 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001483789
005 20190102161457.0
100 # # $a 20180731d2018 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Технологии микропрофилирования и формирования контактных систем для микроприборов на основе нитридов III группы  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Желаннов Андрей Валерьевич  $g [Новгородский государственный университет им. Ярослава Мудрого] 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2018 
215 # # $a 18 с. 
320 # # $a Библиография: с. 16—18 (24 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34408  $a ТРАНЗИСТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5245385  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОПЕРАЦИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26346  $a ПРОФИЛИРОВАНИЕ (техн.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 45.09.35  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar13302292  $a Желаннов  $b А. В.  $g Андрей Валерьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180731  $g RCR