Физико-химические основы оптимизации параметров герметизации полимерными материалами в производстве интегральных схем и полупроводниковых приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1985 гг.) / В. С. Сотников, В. А. Будков, Б. А. Астапов

Сохранено в:
Шифр документа: 202829-4,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Сотников, В. С.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1987
Физические характеристики: 56, [1] с., включая обложку : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1987, вып. 4
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001480231
005 20180628152949.0
100 # # $a 20180628d1987 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Физико-химические основы оптимизации параметров герметизации полимерными материалами в производстве интегральных схем и полупроводниковых приборов  $e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1985 гг.)  $f В. С. Сотников, В. А. Будков, Б. А. Астапов 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1987 
215 # # $a 56, [1] с., включая обложку  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 6  $i Материалы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1987, вып. 4 
320 # # $a Библиография: с. 50―57 (108 назв.) 
345 # # $a 1770 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78456  $1 2001   $v 1987, вып. 4 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar8464526  $a Сотников  $b В. С.  $g Василий Семенович  $c доктор химических наук 
701 # 1 $a Будков  $b В. А.  $g Владимир Александрович 
701 # 1 $a Астапов  $b Б. А.  $g Борис Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180505  $g psbo