Современное состояние исследований механизма роста эпитаксиальных слоев кремния и соединений АIII BV из газовой фазы. Ч. 3: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1966―1984 гг.) / С. С. Стрельченко, А. А. Матяш, Ю. И. Кунакин

Сохранено в:
Шифр документа: 194481-9,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Стрельченко, С. С.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1985
Физические характеристики: 53, [1] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1985, вып. 5
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001480116
005 20180628114415.0
100 # # $a 20180628d1985 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Современное состояние исследований механизма роста эпитаксиальных слоев кремния и соединений АIII BV из газовой фазы. Ч. 3  $i Анализ механизма элементарных стадий при эпитаксиальном росте соединений АIII BV из газовой фазы  $e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1966―1984 гг.)  $f С. С. Стрельченко, А. А. Матяш, Ю. И. Кунакин 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1985 
215 # # $a 53, [1] с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 6  $i Материалы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1985, вып. 5 
320 # # $a Библиография: с. 47―53 (109 назв.) 
345 # # $a 1650 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78456  $1 2001   $v 1985, вып. 9 
700 # 1 $a Стрельченко  $b С. С.  $g Станислав Сергеевич 
701 # 1 $a Матяш  $b А. А.  $g Александр Андреевич 
701 # 1 $a Кунакин  $b Ю. И. 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180628  $g psbo