Модификация свойств оксидов ванадия методом плазменно-иммерсионной ионной имплантации: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.04 Физическая электроника / Бурдюх Сергей Васильевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//220239(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Бурдюх, С. В.
Опубликовано: Петрозаводск , 2018
Физические характеристики: 21 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001469643
005 20210408105843.0
100 # # $a 20180514d2018 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Модификация свойств оксидов ванадия методом плазменно-иммерсионной ионной имплантации  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.04 Физическая электроника  $f Бурдюх Сергей Васильевич  $g [Петрозаводский государственный университет] 
210 # # $a Петрозаводск  $d 2018 
215 # # $a 21 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 19—21 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35913  $a ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4937  $a ВАНАДИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2847095  $a ОКСИДЫ ВАНАДИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5820  $a ВОДОРОД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15827  $a ЛЕГИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35619  $a ФАЗОВЫЙ СОСТАВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
610 0 # $a пентаоксид ванадия 
610 0 # $a пентааксід ванадыю 
610 0 # $a диоксид ванадия 
610 0 # $a дыаксід ванадыю 
610 0 # $a плазменно-иммерсионная ионная имплантация 
610 0 # $a плазменна-імерсійная іонная імплантацыя 
686 # # $a 01.04.04  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.15  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.23  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar13244891  $a Бурдюх  $b С. В.  $g Сергей Васильевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180514  $g RCR