|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0001469643 |
005 |
20210408105843.0 |
100 |
# |
# |
$a 20180514d2018 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Модификация свойств оксидов ванадия методом плазменно-иммерсионной ионной имплантации
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 01.04.04 Физическая электроника
$f Бурдюх Сергей Васильевич
$g [Петрозаводский государственный университет]
|
210 |
# |
# |
$a Петрозаводск
$d 2018
|
215 |
# |
# |
$a 21 с.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 19—21
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35913
$a ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4937
$a ВАНАДИЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2847095
$a ОКСИДЫ ВАНАДИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5820
$a ВОДОРОД
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15827
$a ЛЕГИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35619
$a ФАЗОВЫЙ СОСТАВ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
610 |
0 |
# |
$a пентаоксид ванадия
|
610 |
0 |
# |
$a пентааксід ванадыю
|
610 |
0 |
# |
$a диоксид ванадия
|
610 |
0 |
# |
$a дыаксід ванадыю
|
610 |
0 |
# |
$a плазменно-иммерсионная ионная имплантация
|
610 |
0 |
# |
$a плазменна-імерсійная іонная імплантацыя
|
686 |
# |
# |
$a 01.04.04
$2 oksvnk
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.15
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.23
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar13244891
$a Бурдюх
$b С. В.
$g Сергей Васильевич
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180514
$g RCR
|