Методы и средства контроля чистоты и качества поверхности полупроводников: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1975 гг.) / [О. Л. Вестфаль, А. Т. Мягков]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Вестфаль, О. Л. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1976 |
| Физические характеристики: |
34, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1976, вып. 9 |
Загрузка