|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001468054 |
| 005 |
20180507152849.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180507d1976 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Методы наблюдения и контроля дефектов в полупроводниковых материалах и структурах
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1958―1975 гг.)
$f [Ю. М. Литвинов, Т. И. Ольховикова, Ф. Р. Хашимов]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1976
|
| 215 |
# |
# |
$a 33, [1] с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 6
$i Материалы
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1976, вып. 3
|
| 304 |
# |
# |
$a Авторы указаны на обложке
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 31―34 (82 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1550 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78456
$1 2001
$v 1976, вып. 3
|
| 700 |
# |
1 |
$a Литвинов
$b Ю. М.
$g Юрий Михайлович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Ольховикова
$b Т. И.
$g Тамара Игоревна
|
| 701 |
# |
1 |
$a Хашимов
$b Ф. Р.
$g Фаррух Рахимович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180507
$g psbo
|
