Разрушение пленок тугоплавких оксидов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1968―1981 гг.) / [Н. И. Анацкая и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Анацкая, Н. И. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1982 |
| Физические характеристики: |
35, [1] с., включая обложку : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1982, вып. 3 |
1982, Вып.3: Разрушение пленок тугоплавких оксидов
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||