Физико-химические особенности процессов плазмохимического травления: (по материалам отечественных и зарубежных литературных источников за 1970―1991 гг.) / [С. Н. Рябов, С. А. Кутолин, Н. И. Бойкин]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рябов, С. Н. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1981 |
| Физические характеристики: |
73 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1981, вып. 20 |
Загрузка