|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001467448 |
| 005 |
20180504094435.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180504d1981 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-химические особенности процессов плазмохимического травления
$e (по материалам отечественных и зарубежных литературных источников за 1970―1991 гг.)
$f [С. Н. Рябов, С. А. Кутолин, Н. И. Бойкин]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1981
|
| 215 |
# |
# |
$a 73 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 7
$i Технология, организация производства и оборудование
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1981, вып. 20
|
| 304 |
# |
# |
$a Авторы указаны на обложке
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 66―73 (106 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$a 1850 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br119311
$1 2001
$v 1981, вып. 20
|
| 700 |
# |
1 |
$a Рябов
$b С. Н.
$g Сергей николаевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Кутолин
$b С. А.
$g Сергей Алексеевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Бойкин
$b Н. И.
$g Николай Иванович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180504
$g psbo
|
