Послойный анализ полупроводниковых материалов методом вторично-ионной масс-спектрометрии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1987 гг.) / С. С. Волков, А. Б. Толстогузов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Волков, С. С. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1988 |
| Физические характеристики: |
48 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1988, вып. 4 |
Загрузка