Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980―1987 гг.) / В. М. Таран, В. И. Орлов

Сохранено в:
Шифр документа: 202830-16,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Таран, В. М.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1987
Физические характеристики: 49, [1] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1987, вып. 16
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001467389
005 20180504085402.0
100 # # $a 20180504d1987 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники  $e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980―1987 гг.)  $f В. М. Таран, В. И. Орлов 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1987 
215 # # $a 49, [1] с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 7  $i Технология, организация производства и оборудование  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1987, вып. 16 
320 # # $a Библиография: с. 48―50 (56 назв.) 
345 # # $a 2000 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br119311  $1 2001   $v 1987, вып. 16 
700 # 1 $a Таран  $b В. М.  $g Владимир Маркович 
701 # 1 $3 BY-SEK-198017  $a Орлов  $b В. И. 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180504  $g psbo