Лазерно-химические реакции для получения элементов ИЭТ: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1977―1990 гг.) / Ю. В. Серянов, Л. В. Аравина

Сохранено в:
Шифр документа: 215422-11,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Серянов, Ю. В.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1990
Физические характеристики: 42 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1990, вып. 11
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001467220
005 20180503143515.0
100 # # $a 20180503d1990 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Лазерно-химические реакции для получения элементов ИЭТ  $e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1977―1990 гг.)  $f Ю. В. Серянов, Л. В. Аравина 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1990 
215 # # $a 42 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 7  $i Технология, организация производства и оборудование  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1990, вып. 11 
320 # # $a Библиография: с. 40―42 (42 назв.) 
345 # # $a 629 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br119311  $1 2001   $v 1990, вып. 11 
700 # 1 $a Серянов  $b Ю. В.  $g Юрий Владимирович 
701 # 1 $a Аравина  $b Л. В.  $g Лариса Владимировна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180503  $g psbo