Нанесение металлов и их соединений методами магнетронного и диодного распыления: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1977―1985 гг.) / Б. В. Корчагин, В. И. Орлов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Корчагин, Б. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1986 |
| Физические характеристики: |
42 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1986, вып. 15 |
Загрузка