Нанесение металлов и их соединений методами магнетронного и диодного распыления: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1977―1985 гг.) / Б. В. Корчагин, В. И. Орлов

Сохранено в:
Шифр документа: 195643-15,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Корчагин, Б. В.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1986
Физические характеристики: 42 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1986, вып. 15
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001467176
005 20180503134722.0
100 # # $a 20180503d1986 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Нанесение металлов и их соединений методами магнетронного и диодного распыления  $e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1977―1985 гг.)  $f Б. В. Корчагин, В. И. Орлов 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1986 
215 # # $a 42 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 7  $i Технология, организация производства и оборудование  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1986, вып. 15 
320 # # $a Библиография: с. 38―42 (90 назв.) 
345 # # $a 2000 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br119311  $1 2001   $v 1986, вып. 15 
700 # 1 $a Корчагин  $b Б. В.  $g Борис Владимирович 
701 # 1 $a Орлов  $b В. И.  $g Василий Иванович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180503  $g psbo