Аппаратура и методика осаждения слоев при пониженном давлении. Ч. 1: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1973―1984 гг.) / Ю. В. Васильев, М. С. Сухов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Васильев, В. Ю. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1985 |
| Физические характеристики: |
54, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1985, вып. 3 |
Загрузка