Физико-химические условия в реакторе установки плазмохимического травления и структура установки (поштучной) обработкой пластин: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980―1984 гг.) / [С. А. Смирнов, П. Р. Шефер]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Смирнов, С. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1985 |
| Физические характеристики: |
52 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1985, вып. 11 |
Загрузка