|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001467134 |
| 005 |
20180503115216.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180503d1985 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-химические условия в реакторе установки плазмохимического травления и структура установки (поштучной) обработкой пластин
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980―1984 гг.)
$f [С. А. Смирнов, П. Р. Шефер]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1985
|
| 215 |
# |
# |
$a 52 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 7
$i Технология, организация производства и оборудование
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1985, вып. 11
|
| 304 |
# |
# |
$a Авторы указаны на обложке
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 47―52 (77 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$a 1950 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br119311
$1 2001
$v 1985, вып. 11
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-129488
$a Смирнов
$b С. А.
$g Сергей Александрович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Шефер
$b П. Р.
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180503
$g psbo
|
