|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001467033 |
| 005 |
20180503101105.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180503d1981 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Системный подход при проектировании автоматических линий для промышленных фотолитографических комплексов
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965―1981 гг.)
$f В. В. Степанов, В. В. Сысоев
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1981
|
| 215 |
# |
# |
$a 40 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 7
$i Технология, организация производства и оборудование
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1981, вып. 21
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 38―40 (38 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$a 1820 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br119311
$1 2001
$v 1981, вып. 21
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-280612
$a Степанов
$b В. В.
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-262091
$a Сысоев
$b В. В.
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180503
$g psbo
|
