Тепло- и массоперенос при газофазной эпитаксии кремния: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965―1987 гг.) / Ю. А. Райнов [и др.]
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Райнов, Ю. А. |
| Published: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1987 |
| Physical Description: |
64 с. : ил. ; 21 см
|
| Language: | Russian |
| Series: |
Обзоры по электронной технике
1987, вып. 17 |
1987, Вып.17: Тепло- и массоперенос при газофазной эпитаксии... / Райнов Ю. А.
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||