Тепло- и массоперенос при газофазной эпитаксии кремния: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965―1987 гг.) / Ю. А. Райнов [и др.]
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Райнов, Ю. А. |
| Апублікавана: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1987 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
64 с. : ил. ; 21 см
|
| Мова: | Руская |
| Серыя: |
Обзоры по электронной технике
1987, вып. 17 |
1987, Вып.17: Тепло- и массоперенос при газофазной эпитаксии... / Райнов Ю. А.
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||