Применение лазерной интерферометрии для контроля технологии изделий электронной техники: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965―1987 гг.) / Б. Б. Горбатенко [и др.]

Сохранено в:
Шифр документа: 202830-5,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Горбатенко, Б. Б.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1987
Физические характеристики: 56 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1987, вып. 5
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001466966
005 20180503084727.0
100 # # $a 20180503d1987 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Применение лазерной интерферометрии для контроля технологии изделий электронной техники  $e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965―1987 гг.)  $f Б. Б. Горбатенко [и др.] 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1987 
215 # # $a 56 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 7  $i Технология, организация производства и оборудование  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1987, вып. 5 
320 # # $a Библиография: с. 49―56 (104 назв.) 
345 # # $a 2070 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br119311  $1 2001   $v 1987, вып. 5 
700 # 1 $3 BY-SEK-1541406  $a Горбатенко  $b Б. Б.  $g Борис Борисович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180503  $g psbo