Анализ производительности электронно-лучевого литографического оборудования: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980―1985 гг.) / И. В. Панкратов [и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Панкратов, И. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1986 |
| Физические характеристики: |
43, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1986, вып. 14 |
Загрузка