|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001466922 |
| 005 |
20180502154621.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180502d1986 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Анализ производительности электронно-лучевого литографического оборудования
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980―1985 гг.)
$f И. В. Панкратов [и др.]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1986
|
| 215 |
# |
# |
$a 43, [1] с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 7
$i Технология, организация производства и оборудование
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1986, вып. 14
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 41―44 (42 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$a 1860 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br119311
$1 2001
$v 1986, вып. 14
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-261471
$a Панкратов
$b И. В.
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180502
$g psbo
|
