Физико-технологические особенности ионного легирования монокристаллического и эпитаксиального арсенида галлия для монолитных СВЧ устройств: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1976―1982 гг.) / Б. В. Козейкин [и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Козейкин, Б. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1983 |
| Физические характеристики: |
49 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1983, вып. 5 |
Загрузка