Влияние технологических факторов на интенсивность электромиграции в межсоединениях интегральных схем: (по материалам зарубежной печати за 1966―1986 гг.) / И. А. Калябина

Сохранено в:
Шифр документа: 195643-18,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Калябина, И. А.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1986
Физические характеристики: 26 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1986, вып. 18
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001466492
005 20180428145311.0
100 # # $a 20180428d1986 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Влияние технологических факторов на интенсивность электромиграции в межсоединениях интегральных схем  $e (по материалам зарубежной печати за 1966―1986 гг.)  $f И. А. Калябина 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1986 
215 # # $a 26 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 7  $i Технология, организация производства и оборудование  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1986, вып. 18 
320 # # $a Библиография: с. 20―26 (64 назв.) 
345 # # $a 1880 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br119311  $1 2001   $v 1986, вып. 18 
700 # 1 $a Калябина  $b И. А.  $g Иллирия Алексеевна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180428  $g psbo