Автоматизированные линии для производства интегральных схем: (по материалам иностранной печати за 1969―1973 гг.) / Ю. А. Катунина, Б. К. Афанасьев

Сохранено в:
Шифр документа: 125370-13,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Катунина, Ю. А.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1973
Физические характеристики: 56, [1] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1973, вып. 14
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001465638
005 20180426131941.0
100 # # $a 20180426d1973 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Автоматизированные линии для производства интегральных схем  $e (по материалам иностранной печати за 1969―1973 гг.)  $f Ю. А. Катунина, Б. К. Афанасьев 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1973 
215 # # $a 56, [1] с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $i Серия: Технология, организация производства и оборудование  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1973, вып. 14 
320 # # $a Библиография: с. 56―59 (59 назв.) 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br119311  $1 2001   $v 1973, вып. 14 
700 # 1 $a Катунина  $b Ю. А.  $g Юлия Анатольевна 
701 # 1 $a Афанасьев  $b Б. К.  $g Борис Константинович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180426  $g psbo