Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы. Ч. 1: (по данным отечественной зарубежной печати за 1967―1977 гг.) / [В. И. Иванов, Н. И. Николайкин, Б. Б. Сигалов]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Иванов, В. И. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1977 |
| Физические характеристики: |
35 c. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1977, вып. 14 |
Загрузка