|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001465322 |
| 005 |
20180426143544.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180425d1977 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a y ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы. Ч. 1
$i Тенденции развития и классификация реакторов
$e (по данным отечественной зарубежной печати за 1967―1977 гг.)
$f [В. И. Иванов, Н. И. Николайкин, Б. Б. Сигалов]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1977
|
| 215 |
# |
# |
$a 35 c.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 7
$i Технология, организация производства и оборудование
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1977, вып. 14
|
| 304 |
# |
# |
$a Авторы указаны на обложке
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 32―35 (183 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1800 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br119311
$1 2001
$v 1977, вып. 14
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-533260
$a Иванов
$b В. И.
$g Вадим Иванович
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2516347
$a Николайкин
$b Н. И.
$g Николай Иванович
$c доктор технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$a Сигалов
$b Э. Б.
$g Эдуард Борисович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180425
$g psbo
|
